擴(kuò)散硅壓力傳感器具有精度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快,耐沖擊、抗干擾強(qiáng),結(jié)構(gòu)小巧、安裝方便等通用的特點(diǎn),擴(kuò)散硅壓力傳感器?適用于液體或氣體和流程工業(yè)的壓力測,是工業(yè)自動化領(lǐng)域理想的壓力測量儀表。
擴(kuò)散硅壓力傳感器都會有一個重要的技術(shù)參數(shù),那就是溫度補(bǔ)償。溫度會改變氣體或液體的密度,壓力、粘力會改變,相應(yīng)的液位、差壓也會改變,溫度補(bǔ)償就是用來矯正擴(kuò)散硅壓力傳感器的測量數(shù)據(jù),提高擴(kuò)散硅傳感器的測量精度。
擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫度補(bǔ)償一般可分為內(nèi)補(bǔ)償和外補(bǔ)償。內(nèi)補(bǔ)償通過傳感器的設(shè)計(jì)、制造工藝,封裝材料、形式來減小零點(diǎn)和滿量程的溫度系數(shù),特別是通過控制擴(kuò)散阻條的摻雜濃度,來控制溫度對擴(kuò)散硅傳感器的影響。擴(kuò)散硅壓力傳感器除了內(nèi)補(bǔ)償我們還需要外補(bǔ)償?shù)募映?,擴(kuò)散硅壓力傳感器外補(bǔ)償?shù)男问蕉鄻?有通過固定電阻網(wǎng)絡(luò)的兩點(diǎn)式補(bǔ)償和通過熱敏電阻網(wǎng)絡(luò)的三點(diǎn)式補(bǔ)償。
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